제품
질화알루미늄(AlN) 세라믹에 몰리브덴 발열체를 매립한 고온 히터입니다. C형은 요구 사양에 맞춰 설계한 발열체 패턴을 적용합니다.
KTC-ALN-C SERIES
AlN 히터 C형
반도체·디스플레이 공정 챔버에서 균일한 온도 분포와 낮은 파티클 발생이 요구되는 위치에 사용되는 고온 히터입니다. 열전도율 200 W/m·K 이상의 AlN 세라믹에 몰리브덴 발열체를 매립해, 초당 최대 190°C의 급속 승온과 ±1% 이내의 표면 온도 균일도를 구현합니다.
SPECIFICATIONS
제품 사양
아래는 표준 사양입니다. 형상·치수·발열체 패턴은 요구 사양에 맞춰 맞춤 제작이 가능합니다.
소재
질화알루미늄 (AlN)
몰리브덴(Mo) 발열체 매립 · 일체 소결
열전도율
200 W/m·K 이상
일반 세라믹(Al₂O₃) 대비 10배 이상
승온 속도
최대 190°C / 초
패턴 설계와 공급 전력에 따라 상이
사용 온도
600°C 이상 연속
고온 연속 작업 환경에서 안정 유지
온도 균일도
±1% 이내
히터 표면 전체 기준
발열체 패턴
C형
형상·치수·패턴은 요구 사양에 맞춰 설계·제작
첨단 소재 공급 및 가공,
Global Material Leader
소재부터 가공품까지, 고객의 입장에서 가장 좋은 Solution을 드립니다.
평일 AM 9:00 ~ PM 5:30 (금요일 격주 PM 4:00 /금요일 격주, 주말, 공휴일 휴무)
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